------------------------------------------------------------------------------------------------ ——————————————————————————————————————半导体器件发展历程及其展望第 26卷第4期 2006 年 11月 , 固体电子学研究与进展 Nov.,2006 硅微电子学( 上海,2004212215207 Ξ摘要: 。探讨了半导体器件所取得的最新。最后阐述了世界半导体产业重心的转移及其给中国半导体产业关键词; 微电子技术; 产业重心; 半导体技术蓝图中图分类号:TN301 文献标识码:A 文章编号:100023819(2006)042510206 SemiconductorDeviceHistoryandItsPerspective XIAODeyuan CHENGuoqin (MemoryTechnologyDevelopmentCenter,SemiconductorManufacturingIn ternational (Shanghai)Corporation,Shanghai,201203,CHN) Abstract:Inthispaper,abriefintroductionisgiventothesemiconductordevice historyand ------------------------------------------------------------------------------------------------ —————————————————————————————————————— ,theindustryfacesaswellasthefuturedevelopmentt ,thephenomenonofthesemiconductormanuf ortunitiesandhugechallengestotheChinesesemiconductorindustryaredisc ussed. Keywords:semiconductordevice;microelectronics;manufacturingcenter;s emiconductor roadmap :2520 1引言互联网打开了知识之窗, 成为 21 世纪新的信息化社会的象征。

利用互联网, 人们足不出户, 就能够对旅行列车或飞机的时刻表及目的地的地图, 甚至于购物商店, 下榻旅馆了如指掌。信息技术(IT) 的利用, 使社会更具活力, 更有效率。那么支撑 IT 技术进步的驱动力是什么呢? 那就是人们常说的, 不断追求发展以“更低的能耗”及“更快的速度”处理“更多的信息”为目标的新技术。 IT 的原动力是半导体技术。有感于半导体技术发展如此迅速,摩尔 1998 年感慨道: 假如汽车工业也象半导体工业那样进步如此迅速的话, 一辆劳斯莱斯跑50 万英里将仅消耗一加仑油, 并且丢弃它比将它泊在------------------------------------------------------------------------------------------------ ——————————————————————————————————————停车场来得便宜。与半导体技术一同成长起来的我们这一代人, 感受良深。今天, 集成电路已覆盖信息、通讯、运输、军事、太空以及消费性电子等人类生活的全领域。Ξ E2mail:Deyuan-Xiao@ 4期 2 半导体器件发展历程 1947 年 12月 23 日清晨, 威廉? 肖克莱(WilliamShockley) 焦虑不安地驾车穿越纽瓦克境学界称为“ 20 世纪最重要的发明”。

他们 3 人因此分享了 195 6 年度的诺贝尔物理奖。自第一个晶体管被发明以来, 各式各样的新型半导体器件凭借更先进的技术, 更新的材料和更深入的理论被发明[2] 。 1952 年,Ebers 提出可控硅器件(Thyristor) 基本模型。 1954in) 等人发表 PN() 年,(T。 1958 年, 日本的江畸(Esaki) 发现重掺杂 PN 结具有负阻效应, 对这种反常现